本装置は、複数箇所の接触角を自動測定し、基板全体のぬれ性分布を可視化することで、洗浄・表面処理・レジスト塗布など各工程における表面状態を定量的に評価します。従来の代表点測定では把握が難しい面内ばらつきや局所的な処理ムラの見える化を目指します。
高い再現性と半導体製造工程に適したデータ管理機能により、工程条件の最適化と品質安定化に貢献する専用測定システムの実現を目指しています。」 というコンセプトのもと開発を行っています。
展示会出展案内
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SEMICON JAPAN 2026
みどころSemiconductor、半導体やウエハの製造工程の中で必要とされる測定機、検査機器をご紹介いたします。
本展示会では「半導体品質の見える化」をテーマに開発工程を含む、半導体の各工程における、「界面科学的アプローチ」での「界面の見える化」をご紹介します。
また、本展示会では、「◇310㎜基板に対応した」接触角計のコンセプトモデルも展示いたします。
本機は、次世代半導体パッケージ基板の表面品質管理をテーマに
「半導体の高性能化に伴い、ガラス基板をはじめとする次世代パッケージ基板の表面品質管理がますます重要になっています。当社では、310mm角ガラス基板に対応した専用接触角計の開発を検討しています。
【展示装置】
・全自動接触角計 DMo-902WA(Φ300㎜ステージ搭載)
・全自動接触角計 DMo-702(滑落法OP付き)
・ポータブル接触角計 PCA-11
・高機能表面張力計 DY-500
・横型引張試験機 VPA-H100F
・高濃度ゼータ電位測定装置ZetaProbe
・DMo-702◇310mm基板対応(コンセプトモデル)
〇受託測定
開催期間：2026年12月09日(水)～11日(金)(10時～17時)
開催場所：東京ビックサイト
小間番号：A1018
主催：SEMI
受託測定サービスのご案内
「これって測れる？」 「どう評価したらいい？」
そんな疑問がありましたら、ぜひ当社ブースへ！
当社は装置の製造・販売だけの会社ではありません。
各種受託測定サービスも提供しており、 測定から解析・レポート作成まで 専門スタッフがサポートします。
当日は、電池材料評価に関するお困りごとと解決のヒントをまとめた展示もご用意しています。
まずは情報収集だけでも大歓迎です。お気軽にお声がけください！
DMo-702◇310㎜ステージ(参考出品)
半導体の各工程と弊社商品の位置づけ
