【販売終了品】自動ウエハ洗浄・処理評価装置 DM-301R
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300mmウエハ対応の円形ステージを搭載し、多機能統合解析ソフトウェア FAMAS Basicを標準装備
- 低コストで画像解析を実現しました。
- 機能を欲張らず、静的測定に限定したシンプルな解析ソフトウェアを搭載しています。
- 計測データはCSV形式で保存され、市販の表計算ソフトウェアへの貼り付けも容易にできます。
- 画像はビットマップ形式で保存され、レポートなどにも活用できます。
- DM-701R、501Rへのアップグレードも可能です。