【販売終了品】大型ガラス洗浄・処理検査装置 LCD-700S
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基板の清浄度、基盤とコーティング剤の付着特性を検査・評価
700×700mmまでの固体試料に対応

- 基板表面に吸着した分子レベル(10Å)の有機室汚染を評価します。
- 各種コーティング剤と基板とのぬれ特性をダイレクトに評価します。
- 各固体試料対応サイズの全面測定が可能です。
- 画像処理による自動計測で、多数点の接触角計に対応します。
LCDパネルの薄膜形成プロセスにおいて、形成膜剥離や密着不良の要因となる有機質汚染の除去、また付着性向上のためのための各種プロセス処理が存在し、その検査は歩留り向上のために必要不可欠なものとなっています。
LCDシリーズは界面科学的方法(純水または各種試液と基板との接触角測定)を用い、基盤の清浄度、基盤とコーティング剤の付着特性を検査・評価します。