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【販売終了品】全自動ウエハ洗浄・処理評価装置 DM-701R

300mmウエハ対応の円形ステージを搭載し、ハイレベルな全自動制御システムが標準装備

【販売終了品】全自動ウエハ洗浄・処理評価装置 DM-701R
  • ウエハだけではなく、DropMasterシリーズのステージサイズ(150㎜×150㎜)以上の固体試料にもご利用いただけます。
  • Φ300㎜のステージは360°回転させることが可能です。
  • 専用のソフトウェアであるFAMASの[測定]ボタンをクリックするだけで、接触角の測定プロセスである定量液滴形成、着滴、解析、測定面移動の一連の繰り返し動作を全自動で行います。
  • オプション測定においても全自動測定が可能となり、個人誤差の解消や時間の要する経時変化測定における省力化が実現できます。
  • 表面自由エネルギー解析では、エネルギー値の解析から面倒な液交換までを全自動で行います。(オプション)
  • パラメータ画面において測定条件設定をするだけで、面倒なプログラミング作業は不要です。

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